透过型位移传感器 LHT-3000系列
应用场景：
晶圆同心度和缺口检测
应⽤场景：在芯⽚封测环节，需要对晶圆进⾏定⽅向。晶圆中⼼和缺⼝位置定位准确，可以提晶圆切割准确度，从⽽提⾼芯⽚⽣产良品率。
解决⽅案：采⽤创视CHT-3000系列⾼精度边缘旋转时，纠偏传感器。
u通过测量数据计算圆⼼位置，然后通过机械⼿或者执⾏机构将晶圆中⼼移动到旋转轴的中⼼；晶圆圆⼼对准后，再次旋转，纠偏传感器对晶圆缺
⼝定位，定位到缺⼝位置后执⾏机构将缺⼝转动到指定的⻆度。
叠片机隔膜纠偏、极片破损/定位检测
应⽤场景：叠⽚电池代表了锂电池较⾼的⽣产⼯艺⽔平，⼯序复杂，在叠⽚电池⽣产中，根据客⼾不同的⽣产⼯艺要求，需要对隔膜进⾏纠偏检测，需要检测极⽚边缘是否有破损，需要对极⽚进⾏定位，以提⾼叠⽚电池⽣产效率和良率。
u解决⽅案：在叠⽚机不同⼯位，根据客⼾检测要求，使用CHT3000系列⾼精度边缘测量传感器，采样频率4kHz，响应时间250μs，对于极⽚破损检测有明显优势，对于不同透光度的隔膜具有良好的纠偏效果，同时也完全满⾜对于极⽚定位的检测要求。
u为了适应复杂的现场环境，CHT系列⾼精度透过型位移传感器采⽤抗强电磁⼲扰设计，采⽤EtherCAT总线通讯，通讯速度快，信号传输不受⼲扰，特别适⽤于叠⽚机对通讯抗⼲扰性的严格要求。
应用场景
